吉通科技请求进步光刻机分辩率专利大幅度的进步光刻机的分辩率

  金融界2025年1月28日音讯，国家知识产权局信息数据显现，吉通科技（广州）有限公司请求一项名为“改善4的一种进步光刻机分辩率的办法”的专利，公开号CN 119356036 A，请求日期为2024年7月。

  专利摘要显现，改善4的一种进步光刻机分辩率的办法，本发明将光存储单元置于物镜和晶圆之间，曝光时，信号光经过透镜体系后，在光存储单元以原子自旋波的方式暂时保存，光的能量转化为光存储单元介质原子的能量，随后所存储的光信息会依照本来的方向开释开来，可以视为1个抱负的点光源，这个点光源依照本来的方向传达，因为传达的途径没有透镜孔径约束，有用孔径变大，对应的艾里斑变小，最小可分辩尺度就会下降，当这个点光源到达晶圆时，艾里斑宽度变窄，光刻机的分辩率得到大幅度的进步，这样的好处在于对光刻机的孔径要求可以更好的下降，为完成相同的分辩率要求，透镜成像体系能选用小的孔径，这无形中下降了制作的难度和本钱。

  天眼查资料显现，吉通科技（广州）有限公司，成立于2021年，坐落广州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册本钱100万人民币，实缴本钱100万人民币。经过天眼查大数据分析，吉通科技（广州）有限公司参加招投标项目16次，专利信息6条，此外企业还具有行政许可6个。

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